Aplicação de revestimento de sputtering magnetron em campos comuns

Aplicação de revestimento de sputtering magnetron

Sputtering Magnetron.O método pode ser usado para preparar uma variedade de materiais, como metais, semicondutores, isoladores, etc. Tem as vantagens de equipamentos simples, controle fácil, grande área de revestimento, adesão forte e assim por diante. Desenvolvimento de sputtering magnetron até agora, além das vantagens do método de pulverização geral, mas também para obter alta velocidade, baixa temperatura, dano baixo.

Várias funções do filme:tais como absorção, transmissão, reflexão, refração, polarização e outras funções. Por exemplo, o filme antiirefletivo de nitreto de silício é depositado a baixa temperatura para melhorar a eficiência da conversão fotoelétrica de células solares.

Microeletrônica:Pode ser usado como uma tecnologia de revestimento não-quente, usada principalmente para deposição de vapor químico (CVD).

Aplicação de decoração:como todos os tipos de filme total de reflexão e filme translúcido; Como caso de telefone celular, mouse e assim por diante.

Alguns materiais inadequados para depósito de vapor químico (MOCvd) podem ser depositados pelo sputtering magnetron, que pode obter filmes uniformes de área grande.

Indústria Mecânica:Tais como película funcional superficial, filme de superandar, filme auto-lubrificante, etc. Esses filmes podem efetivamente melhorar a dureza superficial, a tenacidade composta, a resistência ao desgaste e a estabilidade química de alta temperatura, aumentando muito a vida útil dos produtos.

Campo óptico:Campo fechado não-equilíbrio tecnologia de sputtering magnetron também foi aplicada a filmes ópticos (como filme anti-reflexão), vidro de baixa radiação e vidro condutor transparente. Em particular, o vidro condutor transparente é amplamente utilizado em dispositivos de exibição de painel plana, células solares, microondas e dispositivos de blindagem de RF, sensores, etc. Além dos campos acima, o sputtering magnetron também desempenha um papel importante na pesquisa do HTS Thin Filmes, filmes finos ferroelétricos, finos gigantes de magnetoresistância, materiais luminescentes finos, células solares, filmes finos de liga de memória.