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DETALHES DO PRODUTO

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Alvo de pulverização de silício de tungstênio (WSi2)

  • 12039-88-2.

  • WSI2.

  • 743400st.

  • 99,5%

  • 4 polegadas dia x 0,25 polegada th.etc

  • 234-909-0.

Status de disponibilidade:

Característica


silicide tungstênio (WSI2) É um composto inorgânico, um silicieto de tungsténio. É um material de cerâmica electricamente condutora.


fórmula química: WSI2

Massa molar: 240,011 g / mol

Aparência: azul-cinzento cristais tetragonais

Densidade: 9,3 g / cm3

Ponto de fusão: 2160 ° C (3920 ° F; 2430 K)

Solubilidade na água: insolúvel



Inscrição


É usado em microeletrônicos como material de contato, com resistividade 60-80 μΩ cm; forma a 1000 ° C. Muitas vezes é usado como um desvio sobre linhas de polissilicon para aumentar sua condutividade e aumentar a velocidade do sinal. Camadas de siliceto de tungstênio podem ser preparadas por deposição de vapor químico, e. usando monossilano ou diclorossilano com hexafluoreto de tungstênio como gases de origem. O filme depositado é não estoichiométrico e requer recozimento para converter em forma estoichiométrica mais condutora. O siliceto de tungstênio é um substituto para filmes de tungstênio anteriores. O siliceto de tungstênio também é usado como uma camada de barreira entre silício e outros metais, e. tungstênio.


O siliceto de tungstênio é também de valor para uso em sistemas microelectromecânicos, onde é aplicado principalmente como filmes finos para fabricação de circuitos de microscalos. Para tais fins, os filmes de siliceto de tungstênio podem ser gravados por plasma usando e. gás trifluoreto de nitrogênio.


WSI.2  realiza bem em aplicações como revestimentos resistentes à oxidação. Em particular, em semelhança com o dissilicida de molibdênio, Mosi2, a alta emissividade do desilicido de tungstênio torna este material atraente para resfriamento radiativo de alta temperatura, com implicações em escudos de calor.


em um: 
sob um: