Material alvo de tungstênio de alta pureza (fabricação de chips)

Aplicação do alvo de pulverização de tungstênio

Alta purezaAlvo de tungstênio.é um substrato importante para a transição do filme de óxido de tungstênio em dispositivos semicondutores. Devido ao alto ponto de fusão de tungstênio, os alvos de tungstênio são preparados principalmente por metalurgia em pó. O método de preparação inclui a pureza de 99,999% ou mais, tamanho de partícula de 3,2 4.2μm de tungstênio em pó para mistura uniforme, colocado no forno de tratamento térmico a vácuo para pré-desgaseificação, e depois em hidrogênio, continua a aquecimento de etapas de desgaseificação; Pó de tungstênio degassed através de vácuo quente pressionando para completar um passo de sinterização; O segundo processo de sinterização é concluído por imprensa isostática quente após a primeira sinterização. Ao moer toda a superfície da segunda placa de tungstênio sinterizada através da usinagem, foi obtido um material alvo de tungstênio de alta pureza com pureza de 99,999% e densidade de 99% e acima para semicondutores, que tem as vantagens de alta pureza, alta densidade e baixa resistência.

A pureza da meta de tungstênio no circuito integrado semicondutor de semicondutores tem um alto requisito, geralmente a pureza alvo deve ser superior a 99,999%. Ao mesmo tempo, a densidade do alvo também tem um efeito importante no processo de revestimento e no desempenho do filme, a densidade do alvo não só afeta a taxa de deposição, a densidade das partículas de filme de pulverização e o fenômeno de descarga, Mas também afeta as propriedades elétricas e ópticas do filme de pulverização. Quanto mais densos o alvo, menor a densidade das partículas de filme de pulverização, mais fraca o fenômeno de descarga, e melhor o desempenho do filme.

Apenas algumas empresas nos Estados Unidos e no Japão dominaram a tecnologia de fabricação para alvos de tungstênio usados ​​em fabricação de chips. Felizmente, com o apoio da política \"feita na China 2025 \", pessoas cada vez mais talentosas voltaram à China para iniciar seus próprios negócios, trazendo com a experiência tecnológica avançada e criando uma melhor atmosfera para pesquisa e desenvolvimento. Isso não acabou com a história do material alvo de metais ter que confiar nas importações, mas também entrou no primeiro ecelão do mundo neste campo.