Quais são os requisitos materiais para a fonte de evaporação no revestimento a vácuo?

Geralmente, o material e a forma da fonte de evaporação devem ser considerados. Os requisitos gerais domaterial de fonte de evaporaçãoestá:

O alto ponto de fusão

Como a temperatura de evaporação do material de evaporação (a temperatura da pressão de vapor de equilíbrio de 1.3PA) é principalmente entre 1000 ~ 2000 ℃, portanto, o ponto de fusão do material de origem de evaporação deve ser maior que esta temperatura.

Saldo a pressão do vapor

O objetivo principal é impedir ou reduzir o material da fonte de evaporação sob materiais de evaporação de alta temperatura e tornar-se impurezas, na camada de revestimento de evaporação. Apenas em materiais de origem de evaporação quando o saldo da pressão do ar é baixo o suficiente para garantir que tenha a menor evaporação de auto durante a evaporação, não afeta a vácuo do sistema e a camada de membrana de poluição, a fim de tornar a quantidade de materiais de origem de evaporação são muito pouco, evaporação Temperatura, material da fonte de evaporação A escolha, deve fazer o material da temperatura de evaporação é menor do que os materiais de origem de evaporação, a pressão do balanço de 1,3 x 10-6 a temperatura correspondente a 1,3 × 10-3PA pode ser usada para preparar alta qualidade filmes.

Propriedades químicas estáveis

A reação química com material de evaporação não deve ocorrer a alta temperatura. Em alta temperatura, alguns materiais de origem de evaporação reagem e difundidos com materiais de evaporação para formar compostos e ligas. Especialmente a baixa fonte de evaporação de liga eutética é fácil de queimar. Por exemplo, Tantalum e Ouro formarão ligas a altas temperaturas, e alumínio, ferro, níquel, cobalto também formarão ligas com tungstênio, molibdênio, tântalo e outros materiais evaporativos. O tungstênio também pode reagir com água ou oxigênio para formar óxidos voláteis, tais como WO, WO2 ou WO3. O molibdênio também pode reagir com água ou oxigênio para formar Moo3 volátil, etc. Portanto, deve escolher o material que não reagirá com o material de revestimento ou formar a liga para fazer o material da fonte de evaporação do material.

Os materiais utilizados como fontes de evaporação devem ter alto ponto de fusão, baixa volatilização e baixa fragilidade após resfriamento de alta temperatura. A fonte de evaporação linear comumente usada deve ser molhada com a fase de metal evaporação, o ponto de fusão é muito maior que a temperatura de evaporação do banhado a ouro, e não reage com a liga banhada a ouro.