Alvos cerâmicos - três fatores principais que afetam as propriedades dele

A pureza dealvo cerâmicotem uma grande influência no desempenho do filme de pulverização. Quanto maior a pureza, melhor a uniformidade do filme de sputtering e a qualidade dos produtos em lote. Além disso, a fim de preparar alvo cerâmico de alto desempenho, deveríamos controlar esses fatores, principalmente incluindo método de moldagem, tamanho de matéria-prima, efeito de sinterização, hoje para analisar os principais fatores que afetam o desempenho do alvo cerâmico são aqueles.

Formação de método

A fim de reduzir a porosidade do alvo cerâmico e melhorar as propriedades de filmes finos, é necessária a alta densidade de alvo cerâmico de pulverização. Porosidade baixa, alta densidade significa que os grãos no corpo cerâmico estão estreitamente organizados, e não é fácil formar avanços destrutivos ao suportar cargas externas ou substâncias corrosivas. O método formador é a chave para obter embrião cerâmica de densidade de cálcio. O alvo cerâmico é geralmente formado por pressionamento a seco, pressionamento isostático, fundição quente e outros métodos. Métodos diferentes têm características diferentes e têm diferentes efeitos sobre a sinterização e microestrutura de cerâmica de taxa de cura.

Granularidade de matérias-primas

O tamanho de partícula da matéria-prima tem uma grande influência sobre a qualidade do filme formado pelo alvo cerâmico. Somente quando a matéria-prima estiver bem o suficiente, o produto final disparado pode formar a microestrutura e fazer com que tenha boa resistência ao desgaste. Partículas de pó, quanto mais multa, maior a atividade e pode promover a sinterização, a força de porcelana é maior, também feita de pequenas partículas também pode ser espalhada por causa do corundo e coeficiente de expansão linear diferente na fronteira de grãos causada pela concentração de estresse , Reduza o risco de cracking, grãos finos também pode dificultar o desenvolvimento de micro rachaduras, não é fácil de fratura transgrângula, é benéfico para melhorar a resistência à fratura, também pode melhorar a resistência ao desgaste.

A sinterização

Para sinterização cerâmica, simplesmente falar é o processo de densificação de boleto verde cerâmico sob alta temperatura. Com o aumento da temperatura e do tempo, a ligação entre as partículas de pó ocorre, a força do corpo sinterizado aumenta, o agregado de partículas em pó em um forte corpo sinterizado policristalino com uma certa microestrutura, e obter as propriedades físicas e mecânicas necessárias do produto ou material. A taxa de densificação e a estrutura final de uma amostra muitas vezes refletem que tipo de tratamento térmico passou.