Método de Material de Alvo, Classificação e Aplicação

Fazendo método dealvo de pulverizaçãomaterials

Atualmente, os materiais alvo são preparados principalmente por moldagem e metalurgia em pó.

1. Método de fundição: A matéria-prima de liga com uma determinada proporção de composição é derretida e, em seguida, a solução de liga é vertida no molde para formar lingote e, finalmente, a meta é feita por processamento mecânico, e o método de fundição é fundido e elenco vácuo. Os métodos de fundição comumente usados ​​são fundamentação de indução a vácuo, fundição de arco a vácuo e bombardeio de elétrons de vácuo fundindo, etc Suas vantagens são o conteúdo de impureza alvo (especialmente conteúdo de impureza de gás) é baixa, alta densidade, pode ser em larga escala; A desvantagem é que, para dois ou mais metais com diferentes pontos de fusão e densidades, é difícil obter alvos uniformes de liga por método de fusão comum.

2. Método de metalurgia em pó: As matérias-primas de liga com uma determinada proporção de composição são derretidas, derramadas em lingotes e depois esmagadas. O pó esmagado é formado por pressionamento isostático e, em seguida, sinterizado a alta temperatura, e finalmente forma o material alvo. Sua vantagem é que o material alvo é uniforme na composição; Desvantagens são de baixa densidade, alto conteúdo de impureza, processo comumente usado em pó, incluindo pressionamento frio, pressionamento quente a vácuo e pressionamento isostático quente.

Classificação e aplicação de alvo de pulverização

De acordo com diferentes alvos materiais podem ser divididos em: alvo de metal, cerâmica (óxido, nitreto, etc.) alvo, alvo de liga.

De acordo com as diferentes instruções de aplicação, pode ser dividido em:

1. Alvo relacionado com semicondutores: Eletrodo, alvo de fiação: alvo de alumínio, alvo de cobre, alvo de ouro, alvo de prata, alvo de paládio, alvo de platina, alvo de liga de silicone de alumínio, alvo de liga de silicone de alumínio, etc. Eletrodo de armazenamento filme: Molibdenum alvo, tungstênio Alvo, alvo de titânio, etc. Filme de adesão: alvo de tungstênio, alvo de titânio, etc. Filme de isolamento de capacitor: chumbo Material alvo de titanato de zirconato.

2. Alvo de gravação magnética: película de gravação magnética vertical: alvo de liga de cromo de cobalto, etc. filme de disco rígido: alvo de liga de cobalto-CR-TA, alvo de liga de cobalto-CR-CR-CR-CR-CR-CR-CR-TA, etc. Cabeça de filme: alvo de liga de cromo de tânmio de cobalto, alvo de liga de zircônio de cromo de cobalto, etc. IOL Filme: alvo de liga de cobalto-platina, alvo de liga de cobalto-paládio, etc.

3. Target de gravação óptica: Mudança de fase Filme de gravação de CD: Alvo de Selenida de Antimônio, Alvo de Liga de Antimônio de Germânicos, Alvo de Liga do Tellurreto Germânico, etc. Filmes de gravação de disco magnético: alvo de liga de cobalto de ferro de dysprosium, Ferro de ferro e alvo de liga de cobalto, Terbium Ferro e alvo de liga de cobalto, alvo de alumina, alvo de óxido de magnésio, alvo de nitreto de silicone, etc. Filme de reflexão de disco óptico: Al alvo, alvo Al Ti, Alvo Al CR, alvo de ouro, alvo de liga de ouro, etc. Silicon Alvo de nitreto, alvo de óxido de silicone, alvo de sulfeto de zinco, etc.

4. Exibir o alvo: Filme condutor transparente: alvo de óxido de estanho indium, alvo de alumínio de óxido de zinco, etc. Eletrodo Fiação de eletrodo: alvo de molibdênio, alvo de tungstênio, alvo de titânio, alvo de tântalo, alvo de cromo, alvo de alumínio, alvo de alumínio tântalo, alvo de alumínio, alvo de alumínio Alvo de liga, etc. Filmes eletroluminescentes: Alvo de manganês dopado com sulfeto de zinco, alvo de terbium dopado de sulfeto de zinco, alvo dopado de sulfeto de cálcio, alvo de óxido de ontal, alvo de óxido de tântalo, alvo de titanato de bário, etc.

5. Outro alvo de aplicação: Filme decorativo: alvo de titânio, alvo de zircônio, alvo de cromo, alvo de liga de alumínio de titânio, alvo de aço inoxidável, etc. Low Resistance Filme: Alvo de liga Ni-CR, alumínio de liga de silicone Ni-CR, alumínio Ni-Cr Alvo de liga, alvo de liga Ni-Cu, etc. Filme de supercondutor: Target YBCO, Bismuto estrôncio de cálcio cobre alvo de oxigênio. Filme de chapeamento de ferramentas: alvo de nitreto, alvo de carboneto, alvo de boreto, alvo de cromo, alvo de titânio, alvo de alumínio de titânio, alvo de zircônio, alvo de grafite, etc.